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半导体学报-CNKI

f=210GHz的超高速InP/InGaAs单异质结晶体管(英文)

  2008-04-07 08:00:00
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f=210GHz的超高速InP/InGaAs单异质结晶体管(英文)
来自: 半导体学报-CNKI  2008-04-07 08:00:00
作者:程伟;金智;刘新宇;于进勇;徐安怀;齐鸣;
摘要:成功地将Polyimide钝化平坦化工艺应用于InP/InGaAs单异质结晶体管制作工艺中.在Vce=1.1V,Ic=33.5mA的偏置条件下,发射极尺寸为1.4μm×15μm的器件,其ft达到210GHz.这种器件非常适合高速低功耗方面的应用,例如超高速数模混合电路以及光学通信系统等...

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