作者：周凤胜;徐兰英;
摘要：本方案是在具有高精确度的CCD成像及检测技术基础上,利用单色性好的激光作为非接触式测量手段,使测量的精度极限直接由激光的波长来决定。同时,根据光的反射理论,通过数学的精确运算、推导,再考虑对CCD图象的数字化处理,以充分提高测量精度。而且,采用了磁场定位技术以及水平设定技术,可以减少测量误差。该方案的测量精度可以达到(10-1+10-7L)微米。..